第(3/3)页 光电显微镜下,清大试制的一微米芯片清晰可见。 “问题很多啊,沟槽模糊,这应该不是光刻的原因,掩膜版的精度不够,芯片上还有残留的灰尘,环境清洁度不够,蚀刻的深度不一致,应该是喷射不均匀,或者蚀刻剂溶度不均匀……” 何振华摇摇头,工艺这一块已经打磨了几个月了,现在似乎遇到瓶颈了,不管怎么做,总会出各种各样的问题。 赵国庆说:“何教授,他山之石可以攻玉,还是想办法买几台国外的设备借鉴一下,特别是激光掩膜版打印机,这东西太需要了。” 手搓掩膜版太累,而且品质也不能保证。 “你以为我不想啊,你说怎么买?” 赵国庆没说话,事实上他还真知道国际上几个出了名的掮客,包括港岛的那几位,只要钱给的足够,啥玩意都能给你买回来,可这时候,他说不出来啊! 而正规渠道! “何教授,我听说日本正在跟我们谈建联合实验室的事,我看你们能不能以学术交流的名义,跟他们买几台设备,用作学术研究!” “以大学科研的名义应该审批简单一些,对了,就以发光半导体这个课题!” “行,那就试试,反正有这个预算,死马当成活马医了!” 赵国庆双手合拢,说:“老天保佑,希望能成!” “哈哈!” 赵国庆是真心期待啊,解决了一微米制程,就可以设计大概五十万晶体管规模的芯片,处理速度提升十倍以上,相控阵雷达不光可以做到发现目标,还可以计算雷达波的特征值,分辨出目标是什么飞行器,甚至能计算出最佳的攻击角度。 第(3/3)页